원익IPS, 기판처리 장치 관련 특허 취득

[아시아경제 정준영 기자]원익아이피에스(원익IPS)는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 특허를 취득했다고 28일 공시했다.

회사에 따르면, 해당 특허는 챔버에서 배출되는 반응 가스의 유속 및 챔버 압력을 용이하게 제어할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것으로 제품 경쟁력 강화 및 차별화에 기여할 것으로 내다봤다.

정준영 기자 foxfury@