[아시아경제 김효진 기자] 주성엔지니어링은 높은 기체 컨덕턴스를 가지는 박막 증착 장비에 관한 특허를 취득했다고 16일 공시했다.
김효진 기자 hjn2529@
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김효진기자
입력2010.12.16 12:23
[아시아경제 김효진 기자] 주성엔지니어링은 높은 기체 컨덕턴스를 가지는 박막 증착 장비에 관한 특허를 취득했다고 16일 공시했다.
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