[아시아경제 김현정 기자] 테스는 1일 기판 반송용 블레이드 및 이를 구비하는 기판 반송 장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다. 이번 특허는 ▲반도체장비 제조시 특허기술 적용을 통한 경쟁력 강화 ▲기술경쟁력 및 원가경쟁력 향상 ▲반도체 및 태양전지 장비 개발 등에 활용될 예정이다.
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김현정 기자 alphag@
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