[아시아경제 조유진 기자] 에스엔유는 '패턴의 결함 검사 방법' 관련 특허권을 취득했다고 22일 공시했다. 취득한 특허는 디스플레이 제조장비 생산에 활용할 계획이다. 회사 측은 "이 특허는 대면적화된 기판에 형성된 패턴에서 형성된 결함의 존재 여부 및 결함의 위치를 용이하게 검사할 수 있는 패턴의 결함 검사 방법에 관한 것"이라고 설명했다. 조유진 기자 tint@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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