[아시아경제 김민영 기자] 원익아이피에스는 진공처리시스템, 진공처리시스템에 사용되는 버퍼 모듈 및 진공처리 시스템의 트레이 이송 방법에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다. 김민영 기자 argus@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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