[아시아경제 김보경 기자] 참엔지니어링은 기판 공정 시 생산 비용과 시간을 줄일 수 있는 플라즈마 처리장치 및 처리방법에 대한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다. 이 회사는 "특허기술을 반도체 생산 관련 장비의 경쟁력을 강화하는 데 활용할 계획"이라고 설명했다. 김보경 기자 bkly477@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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