[아시아경제 배경환 기자] 엘아이지에이디피는 화학기상 증착장치(LED용 MOCVD)에 대한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다. 회사측은 “증착이 이뤄지는 챔버 내부의 온도를 측정하는 센서부의 보호에 관한 것으로 공정의 안정성을 높여주는 역할을 한다”고 설명했다.배경환 기자 khbae@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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