시노펙스, 웨이퍼 가공 폐액 재활용 시스템

[아시아경제 박형수 기자]시노펙스는 12일 웨이퍼 가공시 발생하는 폐수를 재활용 하는 웨이퍼 가공 폐액재활용 시스템을 개발했다고 밝혔다.웨이퍼가공폐액 재활용 시스템이 반도체 제조 공정 중 발생하는 웨이퍼 폐수 속의 각종 물질을 분리·정제해 깨끗한 물로 처리해주는 설비라고 소개했다.기존 방식은 원심력을 이용한 분리기로 물질을 분리하거나 생물학적 처리 및 소각 등의 과정을 거쳐야 했으나 시노펙스는 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템을 이용해 폐수의 98%이상을 재활용할 수 있다고 강조했다. 손경익 시노펙스 대표는 "웨이퍼 가공 폐액재활용 시스템은 산업현장의 친환경 설비로 현재 특허 출원 준비 중"이라며 "기술력을 바탕으로 앞으로 국내뿐만 아니라 세계 시장의 진출 등도 준비하고 있다"고 말했다.박형수 기자 parkhs@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>

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