코미코, 반도체 장비용 정전척 특허 취득

임철영기자

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코미코는 반도체 장비용 정전척(ESC)에 대한 특허를 취득했다고 6일 공시했다.임철영 기자 cylim@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>

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