삼성전자, '물의 날' 맞아 평택캠퍼스 폐수처리 시설 그린동 공개

[아시아경제 정현진 기자] 삼성전자가 22일 '세계 물의 날'을 앞두고 최대 반도체 생산 기지인 평택캠퍼스의 첨단 폐수 처리 시설인 '그린동'의 모습을 공개했다.

삼성전자는 21일 블로그에 '반도체 공정에 사용된 물은 어떻게 처리될까'라는 글을 통해 반도체 제조 과정에서 발생하는 폐수가 그린동을 거쳐 고덕 폐수종말처리장으로 이동하는 과정을 소개했다. 평택캠퍼스는 삼성전자가 조성하고 있는 세계 최대 규모의 반도체 생산 시설로, 현재까지 P1·P2공장이 완공돼 본격 가동에 들어갔으며 P3 라인 건설 공사가 진행 중이다.

평택캠퍼스 그린동의 지하 수처리 시설의 단면적은 약 3만4000㎡로, 서울월드컵경기장 잔디 구장 면적의 약 3.7배에 달한다. 이곳에서 정화되는 폐수의 양은 약 7만t으로 캐리비안베이 하루 담수량(1.5만t)의 약 4.7배 규모다. 삼성전자는 "이곳에 40년 이상 이어온 폐수 처리 노하우를 집적, 시설을 갖췄다"고 소개했다.

삼성전자 평택캠퍼스 폐수처리시설 그린동(사진 = 삼성전자 블로그 캡쳐)

반도체 공정에서 발생하는 폐수는 무기1차처리-유기처리-무기2차처리 공정을 거쳐 정화를 한 뒤 방류구를 거쳐 폐수종말처리장으로 이동, 한번 더 처리가 된 뒤 평택 진위천에 방류된다. 반도체 공정에서 발생하는 폐수는 크게 6가지로 나뉘며 이 폐수에는 불소, 질소가 포함돼 있어 이러한 정화과정을 거치는 것이다.

무기 처리는 약품의 화학반응을 이용해 불소 등 오염 물질을 응집시킨 뒤 찌꺼기를 침전시키는 과정이다. 여기서 알칼리성 폐수의 과산화수소를 처리하기 위해 일반적으로 과수제거제를 사용하지만 그린동에서는 활성탄을 이용해 친환경 공법을 적용했다고 삼성전자는 소개했다. 삼성전자는 "소독제 성분인 과산화수소가 남아있는 상태에서 유기처리로 넘어가면 집수조의 미생물이 모두 죽는다"고 설명했다.

미생물을 활용해 질소를 제거하는 유기 처리 과정은 폐수처리의 핵심 단계로, 그린동에서는 고위험 약품인 메탄올을 사용하는 대신 '복합 유기탄소원'으로 대체해 사용하고 있다. 또 삼성전자는 탈취 설비에서 악취 성분을 제거하기 위해 주로 사용하는 황산을 인산으로 바꿔 유독성이 없도록 했다고 강조했다.

이렇게 정화과정이 끝난 물은 폐수 종말처리장까지 2.6㎞를 이동한다. 이 방류관도 별도의 산소 농도 관리와 함께 기계실처럼 도장해 안전한 시설이 구축돼 있으며 엄격한 관리 기준을 적용해 고덕 폐수종말처리장으로 이동하게 된다고 소개됐다.

이 외에도 그린동의 중앙통제실을 통해 모든 폐수처리과정과 방류한 물의 품질 모니터링, 각 공정을 모니터링하는 안전시스템을 모두 확인하고 있으며 자동화율은 97%에 달한다. 또 폐수 처리에 필요한 약품이 이동하는 과정에서 작업자의 안전도를 높이기 위해 각종 스크린도어 등 안전장치를 설치했다.

삼성전자 관계자는 "폐수 처리는 반도체 사업장의 '마지막 공정'이라는 막중한 책임감을 갖고 있다"면서 "폐수 처리에 사용하는 약품은 환경과 안전을 고려해 대체할 수 있도록 기술 개발에 박차를 가하고 있고 방류 수질을 정확하게 모니터링하기 위해 계측기의 정밀도를 개선했다"고 말했다.

정현진 기자 jhj48@asiae.co.kr