원익QNC, 유전장벽방전램프 관련 특허 취득

[아시아경제 정준영 기자] 원익QNC는 유전장벽방전램프 관련 특허를 취득했다고 2일 공시했다.

LCD·OLED 패널제조 중 세정공정에 쓰이면서 전량 수입(일본)에 의존하고 있는 사각형태 엑시머램프 관련 기존 광조사면 전체에 하나의 전극이 형성돼 컨트롤러에서만 광량 조절이 가능하나, 해당 특허는 분할전극 형성으로 개개의 전극에 따른 분할점등이 가능해 공정에 맞춰 광조사량을 램프에서 조절할 수 있고 수명도 늘릴 수 있다는 설명이다.

회사 측은 독자적인 광조사유니트 개발에 적용해 수입대체 효과를 이룰 것으로 기대했다.

정준영 기자 foxfury@asiae.co.kr