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톱텍, 합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치 특허 취득

권해영기자

입력2014.06.12 10:56

[아시아경제 권해영 기자] 톱텍은 합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치와 관련한 특허를 취득했다고 12일 공시했다.


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권해영 기자 roguehy@asiae.co.kr
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