[아시아경제 조슬기나 기자]테스는 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법에 대한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
조슬기나 기자 seul@
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테스, 기판처리장치 특허권
조슬기나기자
입력2012.06.26 14:18
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