테스, 대면적 챔버의 가스분사장치 특허권 취득

[아시아경제 서소정 기자]테스는 대면적 챔버의 가스분사장치에 관한 특허를 취득했다고 20일 공시했다.

회사 측은 "이 특허는 안정된 공정 데이터를 얻을 수 있고, 장치의 파손이나 열변형에 의한 변형을 방지할 수 있다"며 "태양전지 및 제조장치와 관련된 것으로 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 말했다.

서소정 기자 ssj@