테스, 기판처리장치 특허 취득

[아시아경제 김철현 기자]테스는 기판처리장치 특허를 취득했다고 19일 공시했다. 이 특허 기술은 복수의 배기공이 선택적으로 개방되는 것으로 배기 방향이 조절 가능해 공정 균일도를 향상시킬 수 있다.

김철현 기자 kch@