[아시아경제 최일권 기자] 탑엔지니어링은 CNT가 코팅된 디스펜서용 스테이지 특허를 취득했다고 22일 공시했다.
회사 측은 이 기술이 정전기 방지효과를 높여 기판의 신뢰성을 향상시킨다고 설명했다.
최일권 기자 igchoi@
<ⓒ투자가를 위한 경제콘텐츠 플랫폼, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
AD
최일권기자
입력2011.06.22 10:31
[아시아경제 최일권 기자] 탑엔지니어링은 CNT가 코팅된 디스펜서용 스테이지 특허를 취득했다고 22일 공시했다.
회사 측은 이 기술이 정전기 방지효과를 높여 기판의 신뢰성을 향상시킨다고 설명했다.
최일권 기자 igchoi@
<ⓒ투자가를 위한 경제콘텐츠 플랫폼, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>