주성엔지니어링, '정전척의 상하운동 감지시스테' 특허 취득

[아시아경제 이상미 기자]주성엔지니어링은 '정전척의 상하운동 감지시스템'으로 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.

주성엔지니어링은 이번에 취득한 특허에 대해 정전척의 위치를 감지하는 센서의 간격을 줄인 감지시스템에 관한 것이라고 설명했다.

이상미 기자 ysm1250@