주성엔지니어링, 기판 로딩·언로딩 방법 특허취득

[아시아경제 김효진 기자] 주성엔지니어링은 기판트레이를 포함하는 공정챔버와 이를 이용한 기판의 로딩 또는 언로딩 방법에 관한 특허를 취득했다고 16일 공시했다.

김효진 기자 hjn2529@