티씨케이, 실리콘 카바이드 기판 제조 특허 취득

[아시아경제 성정은 기자]티씨케이는 실리콘 카바이드 기판 제조방법 국내 특허를 취득했다고 10일 공시했다. 특허 주요내용은 벌크 형태의 CVD SiC 소재를 생산하기 위한 기판의 형성방법으로 티씨케이는 이를 SiC 소재의 반도체용 전극이나 링 제조에 활용할 예정이다.

티씨케이는 또 정전척의 전극 제조방법 국내 특허를 취득했으며 이 기술을 용사코팅을 이용한 정전척 전극제조에 활용할 예정이라고 밝혔다.

성정은 기자 jeun@