박형수기자
글로벌 반도체기판 검사 선도업체 기가비스가 강세다. 기술 고도화가 어려운 자동광학수리기(AOR)와 관련한 특허를 취득했다는 소식이 주가에 영향을 주는 것으로 보인다.
23일 오후 2시13분 기가비스는 전날보다 14.12% 오른 8만800원에 거래되고 있다.
전날 기가비스는 '초점 변화 기반 3차원 측정기에서 최적의 스캔 범위 자동 설정'에 대한 특허를 취득했다고 밝혔다. 특허는 기가비스의 핵심인 AOR 설비에 장착해 불량 수리 후 데미지를 3차원으로 분석하는 데 사용할 수 있는 특허다. 향후 AOI 및 VRS에도 3차원 측정기 탑재가 가능하여 기술의 확장성이 크다.
AOR은 불량회로가 있는 기판을 폐기하지 않고 양품으로 활용할 수 있어 제품 수율을 획기적으로 향상시킬 수 있는 설비다. AOR은 기술 고도화가 매우 어려운 설비로 세계적으로 기가비스를 포함해 두 회사만 해당 설비를 제작할 수 있다.
강해철 기가비스 대표는 "초점 변화 기반 3차원 측정 방식으로 미세 패턴이 밀집된 영역의 정확한 형상 분석을 위해서는 반드시 필요한 기술이 특허로 등록됨으로써 핵심 기술 보호 및 당사 3차원 측정기의 기술 경쟁력을 확보하게 됐다"고 설명했다.
기가비스는 지난달 코스닥 시장에 상장했다. 첨단 기술 리더십 기반으로 시장을 선도하고 있는 반도체기판 후공정 검사분야의 대표업체다.