박형수기자
[아시아경제 박형수 기자] 블랭크마스크 전문업체 에스앤에스텍이 투자 효율성 재고와 경영 환경 변화에 맞춰 신규시설투자 계획을 2단계로 나눠 투자 기간을 변경한다고 5일 밝혔다.
에스앤에스텍은 최근 글로벌 경제의 불확실성 확대로 다수 반도체 업체가 투자계획을 조정함에 따라 EUV 신사업과 기존 블랭크 마스크 사업의 연관성 및 재무적 안정성을 고려해 투자 기간을 연장한다.
에스앤에스텍은 사업 확장과 EUV 관련 소재 양산을 위해 공장 설계 및 건축 허가 등 행정 절차를 마쳤다. 200억원을 투입해 경기도 용인에 공장을 신축하는 시설 투자를 계획했다. 에스앤에스텍은 이사회를 열어 용인 공장 신축 완료 시점을 연내 완공에서 2년 연기하기로 결정했다.
바뀐 투자계획에 따라 1차로 43억원을 투입해 기존 대구 공장 클린룸 증설을 연내 완료한다. EUV 블랭크 마스크 양산 준비를 진행하는 동시에 EUV 펠리클 초도 양산을 위한 설비도 함께 구축할 예정이다.
2차로 2024년 12월까지 경기도 용인에 양산공장을 신축한다. EUV용 블랭크 마스크는 EUV 노광 공정에서 웨이퍼에 회로를 새기는 데 활용되는 패턴 마스크의 원판으로 나노미터(nm) 수준의 얇은 다층막(멀티 레이어) 위에 흡수체인 기반 합금을 다시 적층하는 과정을 거쳐 제작된다.
에스앤에스텍은 올해 6월 EUV 블랭크 마스크의 결함 개선을 위한 신규 검사설비를 도입했다. 다층막 증착용 양산 장비도 연내 도입해 2023년까지 EUV 블랭크 마스크 양산 준비를 완료할 계획이다.
EUV용 펠리클의 경우 2021년 90% 투과율의 펠리클 개발 완료에 이어 현재 92% 투과율의 펠리클 개발과 함께 기관 및 업체와 평가를 진행하고 있다. 앞으로 시장 요구 시기에 맞춰 개발과 양산 라인 구축을 진행할 계획이다.
에스앤에스텍 관계자는 "투자 계획은 EUV 블랭크 기술 개발 가속화를 위해 대구 공장의 기존 양산 설비를 공유하는 신규 설비를 구축해 불필요한 중복투자를 막고 자원을 효율적으로 운용하기 위한 것"이라고 설명했다.
EUV 펠리클 사업에 대해 "용인공장 신축 투자 관련 종료 시점 연장을 제외하고 기존에 예정된 투자는 변동 없이 진행될 예정"이라고 말했다.
박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr<ⓒ경제를 보는 눈, 세계를 보는 창 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>