[아시아경제 김유리 기자]테스는 21일 플라즈마 발생 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 회사 측은 "대기압과 같은 높은 압력에서도 안정적인 방전이 가능해, 라디칼을 이용한 기판 처리 공정이 용이한 장점이 있다"고 설명했다. 김유리 기자 yr61@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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