테스, 기판처리시스템 특허 취득

[아시아경제 김철현 기자]테스는 건식식각장치 및 이를 구비한 기판처리시스템에 대한 특허를 취득했다고 5일 공시했다. 김철현 기자 kch@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>