[아시아경제 박충훈 기자]테스는 '기판 처리 장치 및 이의 배기 방법'에 관한 특허를 취득했다고 6일 공시했다.이 기술을 응용하면 기판의 박막을 증착할 때 측방 배기를 실시해 우수한 증착 균일도를 실현할 수 있고 세정 공정시에는 하방 배기를 실시해 높은 세정 효율을 달성할 수 있다.회사는 "장비 제조시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.박충훈 기자 parkjovi@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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