[아시아경제 조유진 기자]테스는 플라즈마 처리장치에 관한 중국 특허를 취득했다고 24일 공시했다. 회사측은 상부 전극의 방해 없이 기판 위치를 정확히 알 수 있기 때문에 기판의 정렬 오차를 보다 줄일 수 있고 상부 전극과 하부 전극의 간격을 정밀하게 제어할 수 있어 공정 효율을 극대화할 수 있다고 설명했다.조유진 기자 tint@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
사회문화부 조유진 기자 tint@ⓒ 경제를 보는 눈, 세계를 보는 창 아시아경제
무단전재, 복사, 배포 등을 금지합니다.