반도체 공정서 발생하는 PFC가스 저감장치 생산중
코스닥 시장이 다시 한번 삼성전자의 대규모 투자소식이 설레이고 있다. 특히 사업장 온실가스 배출량을 지난해 대비 오는 2013년까지 매출 원단위 기준 50% 감축할 방침이라는 소식이 포휴먼을 비롯한 탄소배출 관련주의 주가를 끌려올리고 있다. 20일 오전 11시20분 현재 포휴먼은 전일 대비 550원(3.67%) 오른 1만5550원에 거래되고 있다. 삼성전자는 이날 반도체와 LCD사업장 등에서 발생하는 PFC, SF6 등 지구온난화 가스를 처리하는 설비를 도입할 방침이라고 밝혔다. 포휴먼의 100% 자회사인 FH는 저온 플라즈마 공법을 이용해 반도체 공정에서 발생하는 PFC가스 등 환경오염물질을 저감시키는 장치를 독자기술로 연구 개발해 생산 및 판매하고 있는 업체다.포휴먼은 사업보고서를 통해 반도체회사와 공동개발한 PFC 처리장치인 PFC 플라즈마 시스템이 독점적이고 배타적인 국내외 제조 및 판매권을 보유하고 있다고 밝혔다.이솔 기자 pinetree19@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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