참앤씨, 유도결합 플라즈마 처리장치 특허취득

참앤씨는 3일 다수의 안테나를 구비해 플라즈마 균일도를 높일 수 있는 유도결합 프라즈마 처리장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 구경민 기자 kkm@asiae.co.kr <ⓒ아시아 대표 석간 '아시아경제' (www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>