세메스, 반도체 건식 세정장비 '퓨리타스' 개발

반도체 장비업체인 세메스는 국내 최초로 플라즈마 타입의 반도체 건식 세정장비(설비명 PURITAS)를 양산 개발했다고 21일 밝혔다.

반도체 패턴(미세회로)의 미세화, 고집적화 추세에 따라 기존 습식 세정방식으로는 공정의 한계가 있다. 이에 건식 세정방식을 채택해 제작된 이 설비는 웨이퍼에 다이렉트 플라즈마를 쓰지 않고 리모트 플라즈마를 사용해 다양한 막질의 고선택적 세정 및 식각(에칭)이 가능해 생산성도 크게 향상시켰다고 회사 측은 설명했다.

세메스의 퓨리타스 플라즈마 건식 세정장비 렌더링 이미지. [사진제공=세메스]

이처럼 기판에 손상을 가하는 이온을 사용하지 않고 화학반응을 일으키는 라디칼(중성입자)만을 이용해 고선택적 측면 식각이 가능해져 앞으로 차세대 디바이스로 불리는 3D-DRAM, CFET, GAA 모듈 제작에 필수적으로 사용될 전망이다. 현재 선행 설비사의 경우는 가스방식의 건식 세정장비를 생산하고 있다.

최길현 CTO는 "올해 양산 1호기 출하를 시작으로 향후 3D 제품(메모리 및 로직) 전환 시 수요가 늘어날 것으로 예상되는 만큼 드라이클리닝 시장에서 주도권을 확보해 나가겠다"고 말했다.

한예주 기자 dpwngks@asiae.co.kr