테스, 기판처리장치 관련 특허 등 2개 특허권 취득

[아시아경제 오주연 기자] 테스는 기판처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 방법에 대한 특허권을 취득했다고 4일 공시했다. 회사 측은 "반도체 기판에 대한 증착, 에칭 등의 공정을 진행하는 경우 기판을 챔버 내부로 로딩하게 되며 기판이 기판지지부에 로딩되기 위해 중간에 위치한 기판지지부의 리프트핀에 일일이 안착 및 분리 과정을 거치게 되면 기판의 정렬이 틀어질 수 있다"면서 "이번 특허는 이와 같은 문제점을 해결하기 위해, 복수개의 기판을 챔버 내부로 로딩하거나 챔버 내부에서 언로딩하는 경우에 기판과 리프트핀의 접촉을 최대한 방지해 기판의 오정렬 및 손상을 방지하는 기판처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다"고 설명했다.

이와 함께 탄소 또는 보론를 포함하는 비정질 실리콘막의 형성 방법에 대한 특허권도 취득했다고 별도 공시했다. 회사 측은 "이번 특허는 탄소 또는 보론을 포함하는 비정질 실리콘막 형성 방법 및 이에 의해 제조된 탄소 또는 보론을 포함하는 비정질 실리콘막 및 이를 이용한 하드마스크 막의 제조 방법에 관한 기술"이라면서 "양산 공정에 적용 가능한 탄소 또는 보론을 포함하는 비정질 실리콘막을 제공할 수 있으며 하드마스크로서 적용 가능한 경도 또는 스트레스 특성을 가질 수 있다"고 설명했다.

오주연 기자 moon170@asiae.co.kr