12월 과학기술자상에 이태억 카이스트 교수

반도체 제어장비 최적의 스케줄로 제어하는 수리적 방법 제시

[아시아경제 정종오 기자] '이달의 과학기술자상' 12월 수상자에 이태억 카이스트 교수가 선정됐다. 복잡한 반도체 제조장비를 최적의 스케줄로 제어하는 수리적 방법을 제시한 공로를 인정받았다.

▲이태억 교수

미래창조과학부(장관 최양희)와 한국연구재단(이사장 정민근)은 이 교수를 이달의 과학기술자상 12월 수상자로 선정했다고 발표했다. 이 교수는 반도체 웨이퍼 제조공정에 사용되는 클러스터장비의 작업 순서를 최적으로 결정하고 통제할 수 있는 세계 최고 수준의 공정장비 스케줄링과 제어 기술을 개발했다.

반도체 클러스터장비에 대해 까다롭고 복잡한 운용 조건을 만족하면서 로봇 작업 순서와 타이밍을 최적화하는 수리적 해법을 마련한 것이다. 클러스터장비는 웨이퍼를 여러 형태의 챔버에 투입하는 순서를 정하고 웨이퍼가 공정 전후에 대기하는 시간을 통제해야 한다. 챔버를 주기적으로 청소하는 등 복잡한 제약을 갖는다.

공정이 끝난 웨이퍼가 챔버 안에 남아 있어 가스나 열에 의해 변형되거나 다음 챔버에 투입하기 위해 대기하면서 냉각되는 문제 등을 해결하기 위해 지연시간 제어기술을 이 교수가 개발했다. 지연시간 제어기술은 반도체 미세회로의 선폭이 10나노대로 계속 좁아지면서 반도체 제조공정에 대한 품질관리가 중요하게 부각된 상황에서 웨이퍼 품질의 수율 향상에 기여할 것으로 기대된다.

이 교수는 지난 15년 동안 해당분야 연구를 선도하고 최고 수준의 학술지에 최근 3년간 18편(게재승인 6편 포함)을 게재했다. 반도체 제조업체와 공정장비 제조업체 등 산학협력을 통해 기술을 이전하고 장비 스케줄러를 국산화하는 노력도 진행해 왔다.

정종오 기자 ikokid@asiae.co.kr