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로체시스템즈, 반도체 제조장치 관련 특허 취득

정재우기자

입력2013.11.11 12:36

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[아시아경제 정재우 기자] 로체시스템즈는 유리기판 이송장치 특허를 취득했다고 11일 공시했다.

회사 측은 "밀폐형 카세트 내에 적재돼 있는 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 하는 유리 기판 이송장치에 관한 특허"라면서 "반도체 제조장치에 적용할 기술"이라고 설명했다.

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