SMEC, 더블암식 2단 카세트 이송로봇 개발

[아시아경제 구채은 기자] SMEC가 더블암식 2단 카세트 이송로봇을 개발했다고 20일 밝혔다.

더블암식 2단 카세트 이송로봇은 반도체 웨이퍼, LCD글라스, 솔라셀 제조공정 환경에서 사용된다. 기존 카세트 이송로봇은 지상에 부착된 레일을 따라 이동해서 별도공간을 확보해야 했다.

하지만 SMEC 더블암식 2단 카세트 이송 로봇은 로봇의 위치를 천정으로 바꿨다. 천정에 로봇을 고정하고 주행 레일을 설치해 천정에서 기판을 이동시키는 작업을 수행할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해 기판을 집어 올리기 위한 로봇암의 작업반경과 작동공간을 최소화하고 천정에 설치된 이송로봇과 작업대 사이의 공간을 최대한 활용할 수 있도록 설계돼 로봇의 공간 효율성을 극대화 했다.

회사 관계자는 "기존 로봇이 사용했던 공간에 추가로 생산 라인을 도입할 수 있어 생산성 증대에도 도움 될 것"이라며 "활용도가 높아 상용화도 가능할 것"이라고 말했다.

구채은 기자 faktum@