테스, 웨이퍼 정렬장치 특허권 취득

[아시아경제 이지은 기자]코스닥 상장기업 테스는 웨이퍼 정렬장치 및 이를 포함하는 로드락 챔버에 대한 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.

이 특허는 웨이퍼 정렬 과정에서 소요되는 시간이 전체 반도체 제조 공정시간을 지연시키는 것을 방지해 준다. 테스는 향후 장비 제조시 특허기술을 적용, 제품경쟁력을 강화할 계획이다.

이지은 기자 leezn@