주성, 차세대 디스플레이 제조장비 개발

[아시아경제 최대열 기자]장비업체 주성엔지니어링은 기존 풀HD보다 높은 차세대 고해상도 디스플레이를 제조할 수 있는 장비를 개발했다고 밝혔다.

회사에 따르면 이번에 개발한 유기금속화학증착기(MOCVD) IGZO 기술은 기존 LCD패널 구동소자의 재료인 비결정 실리콘보다 전자이동속도를 수십배 높일 수 있다. 기존의 스퍼터방식의 경우 물리적으로 증착하는 방식으로 원재료가 되는 물질(Indium, Gallium, Zinc)의 비율이 고정돼 있다.

반면 이번 기술은 각 재료로 만든 투명 비결정 산화물 반도체인 IGZO TFT 제조를 MOCVD 방식으로 해 각 원재료의 개별 비율을 자유롭게 조절해 화학적으로 증착할 수 있다. 회사 관계자는 "현재 이같은 방식으로 8세대 기술대응이 가능한 곳은 주성이 유일하다"며 "생산성 및 안전성 측면에서도 세계 최고수준의 전자이동 속도를 구현했다"고 설명했다.

현재 산화물 반도체는 비정질 실리콘 기반의 TFT보다 전자 이동도를 40배 이상 향상시켜 액정의 반응속도를 더 빨리 제어할 수 있다. 초대형, 고선명 디스플레이로 진화하는 기술시장에서 기존 비정질실리콘 방식을 대체하는 방식으로 주목받고 있어 삼성·LG 등 디스플레이 선두업체들도 관련기술확보에 나서고 있다는 게 회사측 설명이다.

회사 관계자는 "유기발광다이오드(OLED) TV, 모바일 디스플레이 등 차세대 기술대응과 1초에 480장 이상 화면을 고속 처리하는 디스플레이 구현까지 가능한 만큼 디스플레이 시장선점에 주력할 것"이라고 말했다.

최대열 기자 dychoi@