원익IPS, 웨이퍼 센터링 방법 특허 취득

[아시아경제 지선호 기자] 원익IPS는 2일 웨이퍼 센터링 방법에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.

웨이퍼 센터링은 반도체 제조 장치에서 진공 상태의 이송 챔버 내부에서 웨이퍼를 공정 챔버로 이송 시킬때 웨이퍼의 중심점을 맞추기 위한 방법이다.

지선호 기자 likemore@