테스, 반도체 제조장치 관련특허 취득

[아시아경제 조인경 기자] 주식회사 테스가 반도체 제조장치와 관련한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.

이 특허 기술은 공정가스의 불안정한 기류 발생 및 열 손실을 방지해 기판 상에 증착되는 박막의 균일성을 향상시키는 것으로, 회사 측은 장비 제조시 기술 및 원가 경쟁력을 강화할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

조인경 기자 ikjo@