테스, 기판처리장치 특허권 취득

[아시아경제 김철현 기자]테스는 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다. 이 특허는 하나의 챔버 내에서 복수의 기판을 가열 및 냉각할 수 있어 작업처리량을 극대화할 수 있는 기술이다.김철현 기자 kch@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>