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STS반도체, 포토레지스트 베이크 장치 관련 특허 취득

정준영기자

입력2015.06.12 09:38

[아시아경제 정준영 기자] STS반도체는 포토레지스트 베이크 장치 관련 특허를 취득했다고 12일 공시했다.


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회사 측은 반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화에 활용할 계획이다.




정준영 기자 foxfury@asiae.co.kr
<ⓒ투자가를 위한 경제콘텐츠 플랫폼, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>

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