원익IPS, GST 화합물 박막 형성방법 특허권 취득

[아시아경제 송화정 기자]원익IPS는 게르마늄(Ge)-안티몬(Sb)-텔루륨(Te) 화합물 박막 형성 방법에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사측은 "기판에 형성된 패턴 외부에 박막이 형성되는 속도보다 패턴 내부에 박막이 형성되는 속도가 큰 원료가스를 이용해 갭필의 특성을 향상시킨 것"이라고 설명했다.

송화정 기자 pancake@asiae.co.kr