참엔지니어링, 플라즈마 에칭 챔버 특허 취득

[아시아경제 김소연 기자]참엔지니어링은 플라즈마 에칭 챔버 관련 특허를 취득했다고 26일 공시했다. 회사 측은 이번 특허기술을 활용해 반도체 생산 공정장비의 경쟁력을 강화할 계획이다.

김소연 기자 nicksy@