테스, 슬릿 개폐 장치 특허권 취득

[아시아경제 배경환 기자] 테스는 공정 챔버의 슬릿 개폐 장치에 특허권을 취득했다고 30일 공시했다. 공정 챔버의 슬릿 개폐 장치란 공정 챔버 내부 온도를 전체적으로 균일하게 유지해 증착 공정 또는 식각 공정을 수행할 수 있도록 하는 시스템이다.

배경환 기자 khbae@