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테스, 반도체 제조장치에 관한 특허 취득

서소정기자

입력2010.11.23 14:49

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[아시아경제 서소정 기자]테스는 반도체 제조용 샤워헤드 및 샤워헤드를 구비한 반도체 제조장치에 관한 특허를 취득했다고 23일 공시했다.

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서소정 기자 ssj@
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