테스, 기판 처리 장치 관련 특허 취득

[아시아경제 황준호 기자] 테스는 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 25일 공시했다. 테스는 이번 특허로 기판 상에 형성되는 박막의 막밀도 및 내식각성이 향상될 것으로 전망했다. 황준호 기자 rephwang@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>