[아시아경제 성정은 기자]티씨케이는 실리콘 카바이드 기판 제조방법 국내 특허를 취득했다고 10일 공시했다. 특허 주요내용은 벌크 형태의 CVD SiC 소재를 생산하기 위한 기판의 형성방법으로 티씨케이는 이를 SiC 소재의 반도체용 전극이나 링 제조에 활용할 예정이다. 티씨케이는 또 정전척의 전극 제조방법 국내 특허를 취득했으며 이 기술을 용사코팅을 이용한 정전척 전극제조에 활용할 예정이라고 밝혔다. 성정은 기자 jeun@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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