테스, 반도체 제조장치에 관한 특허 취득

서소정기자

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[아시아경제 서소정 기자]테스는 반도체 제조용 샤워헤드 및 샤워헤드를 구비한 반도체 제조장치에 관한 특허를 취득했다고 23일 공시했다. 서소정 기자 ssj@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>

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