참엔지니어링, 플라즈마 처리 관련 특허권 취득

[아시아경제 김보경 기자] 참엔지니어링은 기판 공정 시 생산 비용과 시간을 줄일 수 있는 플라즈마 처리장치 및 처리방법에 대한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

이 회사는 "특허기술을 반도체 생산 관련 장비의 경쟁력을 강화하는 데 활용할 계획"이라고 설명했다.

김보경 기자 bkly477@