에스엔유프리시젼, 간섭계 특허권 취득

[아시아경제 이지은 기자]코스닥 상장기업 에스엔유프리시젼은 21일 TSV측정용 간섭계 및 이를 이용한 측정방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다. 사측은 이 특허를 향후 반도체용 제조장비에 활용할 계획이다.

이지은 기자 leezn@