[아시아경제 손선희 기자] 엘피케이는 매엽식 감광성 수지막 제거장치에 대한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.회사는 "반도체, 엘씨디(LCD), 오엘이디(OLED), 엘이디(LED), 포토마스크 등의 제조를 위한 사진공정에서 이용된 감광성 수지막과 잔존하는 잔사를 제거토록 다종의 약액을 챔버공급부에서 순서에 따라 공급하여 제거하는 매엽식 감광성 수지막 제거장치에 관한 것"이라고 설명했다.손선희 기자 sheeson@asiae.co.kr<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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