[아시아경제 진희정 기자]테스는 인라인 기판처리시스템에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 테스 관계자는 "트레이를 사용하지 않고 복수의 기판을 한번에 공정쳄버로 이송할 수 있다"며 "이번 특허로 기존 발생하는 각종 문제들을 해결할 수 있다"고 말했다. 향후 테스는 장비를 제조할 때 이번 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획이다. 진희정 기자 hj_jin@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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