[아시아경제 이상미 기자]주성엔지니어링은 '정전척의 상하운동 감지시스템'으로 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 주성엔지니어링은 이번에 취득한 특허에 대해 정전척의 위치를 감지하는 센서의 간격을 줄인 감지시스템에 관한 것이라고 설명했다. 이상미 기자 ysm1250@<ⓒ세계를 보는 창 경제를 보는 눈, 아시아경제(www.asiae.co.kr) 무단전재 배포금지>
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